Материаловедение полупроводников и металловедение Горелик С.С., Дашевский М.Я.

Учебное пособие охватывает круг основных проблем материаловедения неорганических материалов, предназначенных для использования в электронном приборостроении. Рассмотрены закономерности образования полупроводниковых и металлических фаз; дефекты структуры и примеси в полупроводниках и металлах; поверхностные явления в полупроводниках; процессы диффузии в полупроводниках и металлах; проблемы формирования некоторых свойств полупроводников и металлов; процессы кристаллизации, пластической деформации и термической обработки, в том числе процессы эпитаксиального наращивания топких слоев; основные группы полупроводниковых материалов, используемых в полупроводниковой электронике. Для студентов, научных работников, аспирантов и инженеров, работающих в области химии, физики и материаловедения полупроводников и технологии полупроводниковых материалов и приборов.